[实用新型]纠偏装置及原子层沉积设备有效
| 申请号： | 202020669753.2 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN212221899U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李哲峰;乌磊 | 申请（专利权）人： | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65H23/032 | 分类号： | B65H23/032 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 薛福玲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纠偏装置及原子层沉积设备，所述纠偏装置包括：底板，所述底板上设置有与所述底板活动连接的放卷组件、传送组件和收卷组件，物料从所述放卷组件输出，经所述传送组件传送后被所述收卷组件收卷；所述放卷组件、传送组件和收卷组件各设置有检测组件和纠偏组件，以分别对所述放卷组件、传送组件和收卷组件上传送的基材进行纠偏，如此，通过上述结构，可以实现对基材传送过程中的全过程位置纠偏。 | ||
| 搜索关键词： | 纠偏 装置 原子 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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