[实用新型]转印式滚轮的生产设备有效
申请号: | 202020672267.6 | 申请日: | 2020-04-28 |
公开(公告)号: | CN211718692U | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 林刘恭 | 申请(专利权)人: | 光群雷射科技股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;安利霞 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开一种转印式滚轮的生产设备。转印式滚轮的生产设备包括一曝光装置、一作动机构、以及一显影机构。曝光装置用来伸入一透光圆管内且曝光装置包括一雷射发射模块。雷射发射模块用来朝透光圆管发出通过干涉作用而构成的一图案化光线,以使图案化光线照射在涂布于透光圆管外表面的一负光阻层。作动机构用来使曝光装置与透光圆管相对地移动,以使负光阻层的一部位能够受到图案化光线照射而构成一全像纹路图案层。显影机构用来去除未形成全像纹路图案层的负光阻层的另一部位。借此,取代用于现有的转印式滚轮的制造设备。 | ||
搜索关键词: | 转印式 滚轮 生产 设备 | ||
【主权项】:
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