[实用新型]卷料装置及原子层沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种卷料装置及原子层沉积设备，其中，卷料装置包括驱动件、第一承重座、第二承重座、卷料轴及原点检测装置，第一承重座上设置有第一安全夹头，第二承重座与第一承重座相对设置，第二承重座上设置有第二安全夹头，卷料轴具有相对的安装端及驱动端，安装端与第二安全夹头转动连接，驱动端与第一安全夹头转动连接，并用于与驱动件驱动连接，以使卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理，原点检测装置安装于驱动件上，原点检测装置用于检测第一安全夹头的转动位置，以使第一安全夹头复位至预设安装位置。本实用新型改进了卷料装置的安全夹头及其连接部件的结构，提升了卷料装置的装配效率，节省了装配所需的时间。