[实用新型]张力检测装置及原子层沉积设备有效
| 申请号： | 202020682211.9 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN212355909U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 李哲峰;乌磊 | 申请（专利权）人： | 深圳市原速光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65H23/04 | 分类号： | B65H23/04;B65H20/02;B65H26/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 方昊佳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种张力检测装置及原子层沉积设备，通过合理安排所述第一传送辊和两个所述第二传送辊的相对位置，也即，两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置；且所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧，以使所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送，产生对所述第一传送辊的压力，并通过所述第一传送辊上两端的张力传感器检测所述物料也即基材的张力，从而可以获知物料在所述张力检测装置上传送时的张力，并基于检测结果对所述物料的张力进行调节，从而可以提高原子层沉积品质。 | ||
| 搜索关键词： | 张力 检测 装置 原子 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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