[实用新型]存储器有效

专利信息
申请号: 202020683900.1 申请日: 2020-04-29
公开(公告)号: CN211700280U 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 张钦福;林昭维;朱家仪;朴成;童宇诚 申请(专利权)人: 福建省晋华集成电路有限公司
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108;H01L21/8242
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 362200 福建省泉州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型提供了一种存储器。利用位线和隔离侧墙构成第一分隔线,并进一步结合第二分隔线界定出节点接触窗,以及第一分隔线和第二分隔线的侧壁上还形成有绝缘层,从而可允许用于构成第一分隔线的隔离侧墙上可以形成有侧向凹陷。基于此,即可以采用更为简单的工艺制备其他组件(例如,可以直接利用图形化工艺直接形成第二分隔线),实现了在保证器件性能的基础上,简化器件的制备工艺,提高器件的生产效率。
搜索关键词: 存储器
【主权项】:
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