[实用新型]一种晶圆贴膜机有效
| 申请号： | 202020684703.1 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN212074535U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 柯跃虎;诸葛锋;宋亦健;曾庆明 | 申请（专利权）人： | 广东硕成科技有限公司 |
| 主分类号： | B65B33/02 | 分类号： | B65B33/02 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 李萍 |
| 地址： | 512000 广东省韶关市乳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆贴膜机，包括贴膜机本体和贴膜组件；所述贴膜本体包括贴膜机箱、下压气缸、固定底座、箱体、支撑底腿、贴膜头；所述贴膜组件包括晶圆放置板、晶圆放置槽、限位块、第一气孔、第二气孔；所述晶圆放置板安装在固定底座的内侧；所述晶圆放置槽设置在晶圆放置板的上表面；所述晶圆放置槽上部设有限位块；所述晶圆放置槽的上表面设置有第一气孔；所述贴膜头的上表面设置有第二气孔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆贴膜机 | ||
【主权项】：
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