[实用新型]一种硅片自动化生产线用缓存装置有效

专利信息
申请号: 202020693263.6 申请日: 2020-04-30
公开(公告)号: CN211578712U 公开(公告)日: 2020-09-25
发明(设计)人: 彭加山;彭晓芳 申请(专利权)人: 苏州莱锦机电自动化有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 北京艾皮专利代理有限公司 11777 代理人: 丁艳侠
地址: 215200 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片自动化生产线用缓存装置,包括底座,所述底座上方设置有推片,且推片上侧外壁固定连接有四根连接柱,所述连接柱固定连接有轴板,且轴板上侧外壁固定连接有立轴,所述立轴一端固定连接有移动块,且移动块活动连接有丝杠,所述丝杠两端均固定连接有固定架,且固定架固定连接有顶板。本实用新型能够通过加大生产过程的自动化,能够防止生产的硅片数量巨大,无法及时分拣以实现后续缓存,能够防止硅片堆放过多不利于生产操作,能够便于后期的搬运和储存,防止硅片散乱占据空间,能够满足大数量硅片的缓存,能够对传送过来的硅片表面进行喷气除尘,防止硅片表面存在粉尘。
搜索关键词: 一种 硅片 自动化 生产线 缓存 装置
【主权项】:
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