[实用新型]一种光谱分析装置及系统有效
申请号: | 202020698862.7 | 申请日: | 2020-04-29 |
公开(公告)号: | CN211783862U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 苑高强;刘民玉 | 申请(专利权)人: | 高利通科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/44;G01J3/12;G01N21/27;G01N21/65;G01N21/01 |
代理公司: | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人: | 张媛 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光谱分析装置及系统,包括设置在外壳内的狭缝、消像差元件、准直镜、光栅、聚焦镜、光电探测器以及设置在外壳外的光纤接头;狭缝与光纤接头配合连接,用于将被测光导入并投射到准直镜;消像差元件设置于狭缝与准直镜之间,用于补偿像差;准直镜,用于将通过狭缝投射的被测光准直反射到光栅;光栅,用于将准直镜反射的被测光衍射到聚焦镜;聚焦镜,用于将光栅衍射后的被测光聚焦到光电探测器;光电探测器,用于接收聚焦镜衍射的被测光以获得相应的光谱。本实用新型通过有效地弥补光学像差以提高光谱分析装置的光谱分辨率,具有高分辨率、小体积的优势,可广泛用于拉曼光谱应用以及无接触色共焦测量厚度等应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 光谱分析 装置 系统 | ||
【主权项】:
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