[实用新型]单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具有效
| 申请号： | 202020702558.5 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN212514779U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 杜珂;嵇星;张野;任景琨 | 申请（专利权）人： | 辽宁中电科半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R1/04 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所(普通合伙) 21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 单晶硅棒端面电阻率检测定位夹具，包括架体，在架体中心转动安装主动锥齿轮，在架体上转动安装四个周向均匀布置的径向丝杆，四个径向丝杆内端固定安装与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮，在架体底面位于四个径向丝杆下方分别设有径向滑道，四个径向滑道内分别安装径向滑动的夹板，所述夹板与对应的径向丝杆通过螺纹连接，四个夹板距中心距离相等，在四个夹板内壁分别设有向中心延伸的支撑板，在四个支撑板上分别安装竖直向下的电阻率探针，四个探针距对应夹板内壁相等，所述电阻率探针底端位于架体底面与夹板底面之间。其可使选取检测点定位精准，电阻率检测结果与产品实际电阻率相符，真实反映产品电阻率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 端面 电阻率 检测 定位 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于辽宁中电科半导体材料有限公司，未经辽宁中电科半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020702558.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
