[实用新型]硅片分片系统

摘要

本实用新型提供了一种硅片分片系统，其包括用于对硅片进行分片的分片装置以及感应喷淋装置，所述感应喷淋装置包括用于检测硅片湿度的传感器、可向所述硅片喷水的喷淋装置及控制器，所述控制器根据所述传感器反馈的湿度数据开启或关闭所述喷淋装置。如此设置，保证硅片表面的湿度处于适于分片的范围，既可避免水分太少导致的不易分片，又可避免水分过多导致的后续工段的堵片，减少碎片率，既提高了生产效率，也提高了电池片的生产品质。