[实用新型]蒸镀膜料余量监测装置有效
| 申请号： | 202020705908.3 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN212175027U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 王沛占;朱德盼;伍凯义;杨然翔;张嘉修 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 江舟 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本公开属于半导体技术领域，其提供了一种蒸镀膜料余量监测装置，具体包括：光发射部件、光电转换部件和显示部件；所述显示部件与所述光电转换部件连接；所述光发射部件用于向所述装盛件中发射入射光线；所述光电转换部件用于接收所述装盛件中的反射光线并生成对应的蒸镀膜料余量信号；所述显示部件用于对所述蒸镀膜料余量信号进行显示。本公开实施例的蒸镀膜料余量监测装置实现了通过外部的显示部件实时的监测内部的蒸镀膜料的余量的多少，有效避免成膜异常的情况发生，且结构简单易于实现，具有较高的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 余量 监测 装置 | ||
【主权项】：
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