[实用新型]柔性导电卷材的生产加工系统有效
申请号: | 202020715734.9 | 申请日: | 2020-04-30 |
公开(公告)号: | CN212451618U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 魏鼎 | 申请(专利权)人: | 深圳市元子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/35;C23C14/20;C23C14/16;C25D3/38;C25D7/06;C23C28/02;C25D17/00 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 刘昌刚 |
地址: | 518000 广东省深圳市光明新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了柔性导电卷材的生产加工系统,涉及基材镀膜领域;该生产加工系统包括第一真空镀膜装置,用于在薄膜基材表面形成磁控溅射镀膜;第二真空镀膜装置,位于第一真空镀膜装置后方,用于在磁控溅射镀膜上形成第一金属镀层;第一水镀装置,位于第二真空镀膜装置后方,采用碱性水镀设备,在第一金属镀层上形成过渡金属镀层;第二水镀装置,位于第三真空镀膜装置后方,采用酸性水镀设备,在第一金属镀层上形成增厚金属镀层;本实用新型的有益效果是:能够避免蒸镀工艺的高温因素对膜面串泡和孔洞的影响,可以有效的解决串泡问题,同时解决原蒸镀工艺的高温金属微粒将基膜击穿的孔洞问题。 | ||
搜索关键词: | 柔性 导电 卷材 生产 加工 系统 | ||
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