[实用新型]用于化学气相沉积装置中双面生长垂直石墨烯的石英舟

摘要

本实用新型公开了一种用于化学气相沉积装置中双面生长垂直石墨烯的石英舟。所述的石英舟结构包括石英舟主体、四个支撑柱、悬空舟和固定杆。四个支撑柱用来支撑悬空舟部分；悬空舟中有一个凹槽，凹槽底部留有一个中空的缝隙，可允许金属箔穿过；固定杆用于固定穿过悬空舟缝隙后弯折的部分。这种石英舟可使金属箔垂直悬挂在化学气相沉积装置的石英管中，实现金属箔两面在垂直石墨烯生长过程中所处的氛围完全一致，可避免常规石英钟用于生长垂直石墨烯时上下两面的形貌差异。同时可以防止厚度极薄的金属箔在高温时受热弯曲的问题。