[实用新型]一种用于气瓶内表面钝化的装置

摘要

本发明公开一种用于气瓶内表面钝化的装置，用于通过气相沉积对气瓶内表面进行化学惰性化处理。该装置包括第一加热装置及固体升华装置，第一加热装置用于对待处理的气瓶加热，固体升华装置包括升华反应釜及第二加热装置，升华反应釜设置有用于钝化试剂放入的进样口及用于升华物质流出的出气口，出气口通过带流量阀的连接管线与待处理的气瓶连接，第二加热装置用于对所述升华反应釜进行加热。本装置还在升华反应釜中设置导热管用于提高釜内温度的均匀性。本实用新型能快速、有效的在气瓶内表面壁上通过化学气相沉积方法沉积一层惰性钝化膜，用于微痕量标准物质的研究。