[实用新型]金属掩膜板有效
| 申请号： | 202020751169.1 | 申请日： | 2020-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN212102988U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 樊春雷;王广成;郑庆靓;段雪波;屈晓娟;刘通 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海隆天律师事务所 31282 | 代理人： | 范亚红;钟宗 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供一种金属掩膜板，包括：至少一个子掩膜板，子掩膜板设置有多个蒸镀区，每个蒸镀区中均设置有多个蒸镀孔，每个蒸镀孔均包括一凹槽和一弧形槽，凹槽与弧形槽相互连通，任意相邻的蒸镀孔之间均设置有遮挡结构，遮挡结构的侧面分别构成凹槽与弧形槽的侧壁；弧形槽的中心截面包括第一弧线和第三弧线，第三弧线与遮挡结构的侧面重合，第三弧线与第一弧线的弧度相同且圆心位置重合。在本申请提供的金属掩膜板中，通过在相邻的蒸镀孔之间设置遮挡结构以控制蒸镀区的厚度，使得蒸镀角得以缩小，由此提高了蒸镀膜层的有效膜宽，进一步的，通过增大蒸镀区外围的辅助区的宽度，能够避免应力集中在蒸镀区的边缘，进而避免蒸镀异常问题。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 掩膜板 | ||
【主权项】：
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