[实用新型]校正机和镀膜夹具有效
| 申请号： | 202020751895.3 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN212582002U | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 辜批林;李庆跃;骆红莉;郭雄伟;黄文俊;林土全 | 申请（专利权）人： | 东晶电子金华有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人： | 尚志峰;王淑梅 |
| 地址： | 321000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种校正机和镀膜夹具，校正机用于校正镀膜夹具，校正机包括平台、定位组件和校正组件；平台用于放置镀膜夹具；定位组件设置于平台的侧方；校正组件设置于平台的侧方，与定位组件相对设置。通过该校正机对镀膜夹具进行校正，减小因镀膜夹具各个部件之间的装配误差，而对镀膜夹具的装配精度的影响，使得镀膜夹具的装配精度更加精确，进而减小镀膜后的图案中心相对石英晶片中心位置的偏差，提升石英晶体谐振器的频率的一致性，满足晶体谐振器高精度化的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 校正 镀膜 夹具 | ||
【主权项】：
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