[实用新型]一种嵌件式注塑一体晶圆研磨环

摘要

本实用新型公开了一种嵌件式注塑一体晶圆研磨环，属于半导体晶圆研磨技术领域。本实用新型的晶圆研磨环，其包括研磨环主体、金属加强环和柱塞件，柱塞件由不导电材质制成，柱塞件上具有连接孔，金属加强环上设有沿环向间隔分布的若干柱塞孔，柱塞件安装于柱塞孔内，金属加强环和柱塞件通过注塑工艺一体嵌入研磨环主体的内部，且研磨环主体上的研磨环安装孔与柱塞件上的连接孔位置相对应。采用上述研磨环结构，研磨环主体和金属加强环结合牢固可靠，解决了现有组合式研磨环易松动而导致研磨精度较差的问题；并且，研磨环通过内嵌的不导电柱塞件实现与研磨设备的连接，有效实现了研磨环与外界的绝缘，有效防止了设备静电对晶圆电路产生的损坏。