[实用新型]一种多气环多逃逸通道的透明窗产生装置和在线测量系统有效
| 申请号： | 202020783297.4 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN214097315U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 高咏生;朱锦炜 | 申请（专利权）人： | 香港科技大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 中国香港*** | 国省代码： | 香港;81 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种多气环多逃逸通道的透明窗产生装置，该透明窗产生装置用于在线测量系统，所述透明窗产生装置的一侧表面为执行面，所述执行面用于朝向待检测的工件设置，所述透明窗产生装置包括至少一组测量通道、至少一组辅助喷气通道、至少一组主环形喷气通道和至少一组环形排气通道，每组所述辅助喷气通道包括至少一个所述辅助喷气通道，每组所述主环形喷气通道包括至少一个所述主环形喷气通道，每组所述环形排气通道包括至少一个所述环形排气通道。本实用新型还提供一种在线测量系统，能够对工件表面进行精确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多气环多 逃逸 通道 透明 产生 装置 在线 测量 系统 | ||
【主权项】：
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