[实用新型]一种波纹管组件的氦质谱检漏装置有效
| 申请号： | 202020784418.7 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN212030845U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 张秀华;宋林红;张文良;张大林;关长江;于翔麟;王雪;王记兵;邢卓;马志承;徐大鹿;孟多南;戴洋;孙志涛 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/22 | 分类号： | G01M3/22;F16J15/10 |
| 代理公司： | 沈阳科威专利代理有限责任公司 21101 | 代理人： | 杨滨 |
| 地址： | 110000 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种波纹管组件的氦质谱检漏装置，它包括有待检测的波纹管组件，O型密封圈、波纹管内支撑块、上下密封法兰，技术要点是：上密封法兰的外圆卡在波纹管组件的上法兰内侧的台阶处，该上密封法兰与波纹管内支撑块的边沿处设有上O型圈，上密封法兰的连接螺钉与波纹管内支撑块相连接，所述支撑块内还带有波纹管内腔通道；波纹管组件上法兰上设置有侧向漏孔，该侧向漏孔与波纹管组件内腔相连通；在支撑块下部套装有下密封法兰，该下密封法兰外边沿通过下O型圈设置于下法兰上的环型凹槽内。本装置的设计完全满足了带侧向漏孔的波纹管组件的密封性检漏要求。波纹管内腔通道与下法兰上的波纹管内腔抽真空通道对应，就可以进行真空氦质谱检漏了。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波纹管 组件 氦质谱 检漏 装置 | ||
【主权项】：
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