[实用新型]一种晶圆测试用升降机构有效
| 申请号： | 202020788986.4 | 申请日： | 2020-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN212403332U | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 顾卫民;吴熙文;吴卓鸿;张梅 | 申请（专利权）人： | 无锡芯启博科技有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/00 | 分类号： | B66F7/00;B66F7/28 |
| 代理公司： | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人： | 朱亮 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆测试用升降机构，包括底板，所述底板的顶部设置有升降板，所述底板顶部的前侧固定连接有立板，所述底板的顶部固定连接有传动电机，所述传动电机的输出端固定连接有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有齿条，所述立板的正面设置有与齿条啮合的齿轮，所述齿轮的背面固定连接有传动杆。本实用新型通过螺杆带动齿条移动，能够提高齿条移动的稳定性，防止出现回转的现象，通过齿条带动齿轮旋转，能够对转盘的旋转角度进行控制，而且齿轮与齿条的传动效率高，替代了现有使用倾斜角度挤压上升的操作方式，解决了现有升降机构结构复杂，制造成本高，而且升降机构顶升力较小，顶升稳定性较差，精度低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 升降 机构 | ||
【主权项】：
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