[实用新型]基于硅光转接板技术的硅基光电子器件有效
| 申请号： | 202020792537.7 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN212083723U | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 蔡艳;涂芝娟;汪巍;余明斌 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司;上海功成半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/42 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 罗泳文 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种基于硅光转接板技术的硅基光电子器件及制备方法，器件包括：硅光器件，包括有源器件结构及无源器件结构，有源器件结构具有引出电极，并覆盖有介质层；转接孔及硅穿孔，贯穿至硅衬底，其内壁形成有绝缘层及导电层；接触孔，贯穿至引出电极；正面重新布线层，正面重新布线层以实现有源器件结构的引出电极与导电层的电性连接；第一凸点层，形成于正面重新布线层上；反面重新布线层，与导电层电性连接；第二凸点层，形成于反面重新布线层上。本实用新型硅光转接板的制备与硅光器件具有较高的兼容性，可以大幅降低光电混合集成的成本。本实用新型为硅光芯片及其控制芯片提供超短距离电气互连，能够有效提高器件的集成密度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 转接 技术 光电子 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新微技术研发中心有限公司;上海功成半导体科技有限公司，未经上海新微技术研发中心有限公司;上海功成半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202020792537.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种心血管内科病人锻炼护理装置
- 下一篇：无人机翻转装置及无人机吊装系统
