[实用新型]一种圆形硅片清洗机构

摘要

本实用新型公开了一种圆形硅片清洗机构，包括架体及设置在架体上的两清洗槽、清洗装置安装架、清洗装置安装架摆动装置、稳定装置、活动安装在清洗装置安装架上的清洗篮；清洗装置安装架摆动装置包括设置在两清洗槽之间的第一横向旋转轴，第一横向旋转轴的左、右两端分别对称固定有等长的转板，两转板分别套装有一第二横向旋转轴；清洗装置安装架的两端分别与两第二横向旋转轴相连；清洗装置安装架的底端的左、右两端各设有垂直于第二横向旋转轴的立板，两立板之间横向安装有清洗篮；清洗装置安装架的顶端横向设有清洗驱动电机，清洗驱动电机与清洗篮的硅片旋转驱动装置相连。本实用新型圆形硅片清洗机构具有清洗高效的特点。