[实用新型]可拆式波纹管结构及应用其的加热模块有效
| 申请号： | 202020803460.9 | 申请日： | 2020-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN212270224U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 何木春 | 申请（专利权）人： | 昭富应用有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘曾 |
| 地址： | 中国台湾新竹县竹北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种适于应用在半导体设备中用以加热半导体晶圆的加热模块。此加热模块包含加热器、波纹管结构、线性轴承以及升降机构。加热器包含一加热器本体及一锁固部，该锁固部位于该加热器本体的底部，且该锁固部具有复数个锁固结构。升降机构设置于该加热器本体的底部。波纹管结构套设于该升降机构并与该加热器的该锁固部气密接合，该波纹管结构包含第一环形端部、第二环形端部和波纹管部。第一环形端部上具有复数个锁固结构与该加热器的该些锁固结构接合，第二环形端部上具有复数个锁固结构，波纹管部则包含多个相互气密接合的环形簧片，该波纹管部的两端分别与该第一环形端部及该第二环形端部气密接合。线性轴承套设于该升降机构并与该波纹管结构的该第二环形端部接合。 | ||
| 搜索关键词： | 可拆式 波纹管 结构 应用 加热 模块 | ||
【主权项】：
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