[实用新型]一种集成电路保护带表面抗静电液涂覆用装置有效
申请号: | 202020809062.8 | 申请日: | 2020-05-15 |
公开(公告)号: | CN212916319U | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 武安辉 | 申请(专利权)人: | 张冰兰 |
主分类号: | B05C1/06 | 分类号: | B05C1/06;B05C11/10;B05C11/00;H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 362000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及集成电路技术领域,且公开了一种集成电路保护带表面抗静电液涂覆用装置,包括支撑架,所述支撑架的顶面活动安装有抗静电液箱,所述抗静电液箱的顶部设置有第一涂覆箱。本实用新型通过水泵输送机构将抗静电液箱内部的抗静电液阶段性的送入到由主输液管、分流管、第二渗透管、第一渗透管四者组成流通管道结构中,并最终通过第二渗透管和第一渗透管内部的所开设的渗透孔将抗静电液分别输入到第二吸附海绵和第一吸附海绵的内部,进而对第二吸附海绵与第一吸附海绵之间的保护带进行涂覆,解决传统的浸泡作业抗静电液一次性使用过多,容易污染浪费的问题,优化保护带的涂覆工艺,降低加工成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 保护 表面 抗静电 液涂覆用 装置 | ||
【主权项】:
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