[实用新型]一种线性宽量程压力波传感器

摘要

本实用新型公开了一种线性宽量程压力波传感器，包括传感器本体，所述传感器本体包括前基座、后基座、敏感膜以及屏蔽罩，所述敏感膜将后基座的前端封闭，使敏感膜及后基座前端外侧形成前腔，敏感膜及后基座内侧形成后腔；在后腔内设有一主电容极板，所述主电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，在前腔内还设有一辅电容极板，所述辅电容极板靠近敏感膜的一侧面与敏感膜平行，使辅电容极板与敏感膜之间形成辅检波电容；所述主电容极板和辅电容极板均包括高声压极板和低声压极板；所述低声压极板的中部开设有安装孔，所述高声压极板安装于该安装孔内。本实用新型能够分段对高声压和低声压进行线性测量，扩大了压力波传感器的测量范围。