[实用新型]一种二维精密微动平台有效
申请号: | 202020835729.1 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN211957127U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 宋嘉诚;沈剑英;许泽宇;赵江;沈哲鹏;刘德茂;何安康 | 申请(专利权)人: | 嘉兴学院 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人: | 焦亚如 |
地址: | 314000 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种二维精密微动平台,包括基座、运动平台、两个驱动器、两个斯科特放大机构以及两个导向机构,所述基座上开设有用于容置运动平台、两个驱动器、两个斯科特放大机构以及两个导向机构的安装槽,所述运动平台设置在安装槽的中心位置且呈正方形,两个驱动器、两个斯科特放大机构、两个导向机构均沿运动平台的对角线对称分布,所述斯科特放大机构、导向机构与运动平台、基座之间均通过柔性铰链相连,所述驱动器驱动连接斯科特放大机构。斯科特放大机构能够放大驱动器的输出位移,能够达到更高精度的亚微米甚至纳米级定位要求。通过设置两个斯科特放大机构配合两个导向机构,只需两个驱动器即能够实现运动平台的X、Y轴方向的移动。 | ||
搜索关键词: | 一种 二维 精密 微动 平台 | ||
【主权项】:
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