[实用新型]一种麦克风有效
申请号: | 202020841354.X | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN211959558U | 公开(公告)日: | 2020-11-17 |
发明(设计)人: | 孙恺;荣根兰;胡维 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04;H04R19/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215002 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种麦克风,其属于麦克风技术领域,麦克风包括衬底和依次设置于所述衬底上的第一牺牲层、振膜和背板,所述衬底上形成背腔,所述背板上开设有多个声孔,所述振膜上开设有多个释放孔,多个所述释放孔以所述振膜的中心为圆心,以固定长度为半径呈环形布置。腐蚀液能够通过背板上的声孔、振膜上的释放孔流至第一牺牲层,从释放孔流入的腐蚀液和从背腔流进的腐蚀液汇合对第一牺牲层进行腐蚀,腐蚀液能够以释放孔为中心,沿第一牺牲层表面进行腐蚀,腐蚀液流量均匀,能够得到形状规则、释放边界形貌好的第一牺牲层。 | ||
搜索关键词: | 一种 麦克风 | ||
【主权项】:
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