[实用新型]倾斜平台及基板传输装置有效
| 申请号： | 202020842001.1 | 申请日： | 2020-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN212830794U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 黄建凯;陈传宜;蔡承佑 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/00 | 分类号： | B65G13/00;B65G13/12 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 赵梦雯;艾晶 |
| 地址： | 中国台湾桃*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露一种借由倾斜角度以使所传输的基板或基板的表面的湿式制程药液散逸的倾斜平台及以之制备的基板传输装置，本实用新型提供一种基板传输装置，该基板传输装置至少包括有一基座及一倾斜平台，其主要在于：倾斜平台设置于基座上，且倾斜平台与基座之间夹设有一夹角；借此，本新型借由在基板传输装置的基座上设置倾斜平台的设计，有效在基板传输的同时使其表面残留的湿式制程的药液可顺着倾斜角度滑落，以使基板在传输时不会因为药液的残留而对其表面造成危害，确实达到保护传输的基板的品质等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜 平台 传输 装置 | ||
【主权项】：
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