[实用新型]自动消像散电子枪有效
申请号: | 202020842719.0 | 申请日: | 2020-05-19 |
公开(公告)号: | CN211670171U | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 黄小东;韦寿祺;费翔;张彤;苏乃波;王斌;董阳;郭文明;梁祖明;黄国华;唐强 | 申请(专利权)人: | 桂林狮达技术股份有限公司 |
主分类号: | H01J29/48 | 分类号: | H01J29/48;H01J29/56 |
代理公司: | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人: | 陈跃琳 |
地址: | 541004 广西壮族自*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本实用新型公开自动消像散电子枪,包括中央控制器、电子源电源、驱动电源、检测装置、信号处理电路和电子枪本体。电子束发生器、消像散装置、聚焦装置和检测装置自上而下设置在电子枪本体内。中央控制器经由电子源电源与电子束发生器连接。中央控制器经由驱动电源与消像散装置连接。检测装置经由信号处理电路与中央控制器连接。本发明采用分裂式罗柯夫斯基线圈作为检测元件,结合脉冲电子束技术,实现了电子束斑点形貌的无接触检测。分裂式罗柯夫斯基线圈以差模信号输出,以检测信号的最小值为消像散装置校正目标,既简化了检测信号的处理方式又消除了共模干扰信号的影响,提高检测的灵敏性和精度。 | ||
搜索关键词: | 自动 消像散 电子枪 | ||
【主权项】:
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