[实用新型]一种具有预加热功能的石英管反应室有效
| 申请号： | 202020845224.3 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN212560517U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张凤嘉;任俊江;薇儿妮卡·夏丽叶;张灵;肖益波 | 申请（专利权）人： | 赛姆柯（苏州）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/12;C30B31/18;C30B29/06;H01L21/225;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 樊晓娜 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相城区经济技术开发*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有预加热功能的石英管反应室，其包括石英管反应腔、第一加热炉及第二加热炉，第一加热炉设置在石英管反应腔长度方向的一端，第一加热炉具有沿其轴向延伸的腔体，第一加热炉远离石英管反应腔的端部设置有至少一个进气管，进气管通过第一加热炉向石英管反应腔内部延伸，进气管与外部气源连接，第一加热炉用于对进气管内气体进行加热；第二加热炉设置在石英管反应腔外，且其与第一加热炉之间保持间距。本实用新型的具有预加热功能的石英管反应室，通过预先对工艺气体进行加热，使得工艺气体温度提升到与石英管反应腔内部硼扩散工艺指定温度接近，降低石英管反应腔内部温度波动范围，减小温区温差波动，加快反应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 加热 功能 石英管 反应 | ||
【主权项】：
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