[实用新型]一种MEMS麦克风

摘要

本实用新型的目的在于提供一种MEMS麦克风，在顶板上设置有声孔，在顶板的顶部设置有保护结构，该保护结构包括用于保护外部封装结构侧壁的第一侧板和第二侧板，用于保护外部封装顶部的保护板，第一侧板与第二侧板分别铰接在保护板的一组相对的边上，上述保护板的形状与顶板的形状相同，将第一凸起镶嵌在第一凹槽内，第二凸起与第二凹槽适配，在保护结构的保护作用下，可以有效提高外部封装结构的安全性，保护板为中空结构，在保护板的空腔内设置有防护网，当对在MEMS麦克风封装完成后，可以将保护板以及与其铰接的第一侧板、第二侧板轻松去除，去除保护结构后，在封装外壳上不会残留粘接胶，不对外部封装结构的散热产生影响。