[实用新型]一种晶振片自动切换系统有效
| 申请号： | 202020855738.7 | 申请日： | 2020-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN212610885U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 程清;刘必林;陈晓玉 | 申请（专利权）人： | 苏州清越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24;G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 康艳艳 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及检测技术领域，具体涉及一种晶振片自动切换系统，包括：监测位，监测位适于设置与膜厚监控仪相连的连接端子；加热位，加热位上设有加热装置；承载结构，其上至少设有第一晶振片放置位、第二晶振片放置位，第一晶振片放置位、第二晶振片放置位均适于与连接端子连接，第一晶振片放置位或第二晶振片放置位与监测位相对并与连接端子相连时，第二晶振片放置位或第一晶振片放置位与加热位相对；驱动装置，用于驱动承载结构运动。加热后，晶振片上沉积的有机材料蒸发，驱动装置可驱动承载结构运动，晶振片可再次随晶振片放置位移动到与监测位相对的位置处，晶振片可重复使用，能够有效减少晶振片的使用数量，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶振片 自动 切换 系统 | ||
【主权项】：
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