[实用新型]衬底托有效
| 申请号： | 202020868043.2 | 申请日： | 2020-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN212357378U | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 金鹏;王占国 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘歌 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种衬底托，用于支撑衬底，在衬底上进行材料生长，其中，所述衬底托包括：基座和支撑装置；所述基座为环状结构；所述支撑装置第一端与所述基座一体相连；所述支撑装置第二端为弧面结构，且与所述衬底下表面相切。本实用新型中通过减小支撑装置与衬底的接触面，降低支撑装置与衬底之间的热传导，实现衬底表面高均匀性温度分布，提高材料生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 | ||
【主权项】：
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