[实用新型]坩埚清洗激光装置有效
| 申请号： | 202020888991.2 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212760123U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 潘淑娣;刘建华;葛晓辉;孔伟金;钟德高;伍子豪;郭祥井;朱庄齐 | 申请（专利权）人： | 青岛大学 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 青岛高晓专利事务所(普通合伙) 37104 | 代理人： | 付丽丽 |
| 地址： | 266071 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚清洗激光装置，包括操作箱、激光清洗机，其中激光清洗机包括激光器、准直镜和振镜，向操作箱内通入惰性气体，激光器输出的激光通过光纤传输到准直镜，经准直镜准直后再入射到振镜，当振镜输出的扫描光束照射在待清洗的坩埚上，完成自动清洗。采用物理方法去除坩埚表面的污垢，不消耗化学物品，无废水产生，环境友好；可以通过对激光波长、功率、频率、脉宽和光斑的控制，使激光能量密度小于坩埚的损伤阈值，不会导致对坩埚破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 清洗 激光 装置 | ||
【主权项】：
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