[实用新型]一种供应化学品定容器的配比装置有效
| 申请号： | 202020891776.8 | 申请日： | 2020-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN212963542U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 罗保兴;杨凯 | 申请（专利权）人： | 上海吉啸电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F22/00 | 分类号： | G01F22/00;B01F15/04;B01F13/10;B01F15/00;G01F23/00 |
| 代理公司： | 北京久维律师事务所 11582 | 代理人： | 邢江峰 |
| 地址： | 201400 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种供应化学品定容器的配比装置，该装置主要包括骨架、操控面板、化学研磨液混合供应装置、化学品定容器、压力监测表、液位传感器、排气装置及相关控制阀。操控面板用于控制整个设备系统自动化运作；化学研磨液混合供应装置是用于生产中研磨液配比及供应储存使用；化学品定容器的材质为聚四氟乙烯(PFA)具有耐腐蚀、耐压的特性，主要用于化学品中转储存和定容定量，然后再经氮气驱动化学品供应到化学研磨液混合供应装置中混合配比；压力监测表用于氮气输入和化学品定容器的压力监测，本实用新型解决了化学研磨液的调配过程中化学品注入容量不精确，流速不稳定的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 供应 化学品 容器 配比 装置 | ||
【主权项】：
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