[实用新型]氮化硅反应炉

摘要

本实用新型公开了氮化硅反应炉，包括炉体和监控柜，炉体内部设置温度传感器，炉体外壳上设置水冷机构。监控柜内设置温度信号处理单元和控制器，信号处理单元包括采样信号滤波电路和复合运放抗干扰电路，采样信号滤波电路运用RC降噪原理降低外界高频杂波噪声对检测信号造成的影响，复合运放抗干扰电路进行带通选频滤波，提高温度检测的抗干扰能力，运用差动复合放大器原理对检测信号进行次级放大，从而有效抑制放大过程中温度检测信号漂移产生系统误差；控制器控制供水管道上的电磁阀打开对炉体进行水冷降温，并根据检测值高于预设值的大小来相应控制电磁阀的开度，从而控制水流量大小来实现炉体温度精确调节，控制效果精准可靠。