[实用新型]一种硅片镀膜专用治具有效

专利信息
申请号: 202020913976.9 申请日: 2020-05-27
公开(公告)号: CN212335293U 公开(公告)日: 2021-01-12
发明(设计)人: 龚裕 申请(专利权)人: 苏州京浜光电科技股份有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458
代理公司: 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 代理人: 郭珊珊
地址: 215500 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种硅片镀膜专用治具,包括底板,所述底板上挖设有圆形通孔,所述圆形通孔内壁上固定连接有定位环,所述定位环内壁上设有衔接槽,所述底板顶侧对称设有连接孔,且所述底板顶侧等距设有螺纹孔,所述底板通过螺纹孔螺纹连接有螺丝,所述螺丝外侧套接有圆环,所述圆环右侧固定连接有曲型片,所述曲型片右端固定连接有定位块,所述定位环顶侧贴合有钢网板,硅片的外壁正好与衔接槽的内腔进行卡合,能够有效的对硅片进行定位固定,钢网板与硅片紧密贴合,防止镀膜过程中溢镀情况的发生,防止钢网板在嵌合的过程中发生脱落或者晃动的情况发生,大大提高了镀膜过程中的稳定性。
搜索关键词: 一种 硅片 镀膜 专用
【主权项】:
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