[实用新型]一种直条靶材装夹机构有效
| 申请号： | 202020925908.4 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN212955312U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;王锋;袁明 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 田小伟 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及靶材供料技术领域，尤其公开了一种直条靶材装夹机构，包括用于承载直条靶材的载架、设置于载架并用于加热蒸发直条靶材的加热单元、用于冷却载架所承载的直条靶材的冷却单元、设置于载架并作用于直条靶材蒸发后的靶材离子的磁铁；实际使用时，将直条靶材设置在载架上，加热单元将载具承载的直条靶材加热蒸发成靶材离子进行供料，借助冷却单元冷却直条靶材，避免直条靶材温度过高而炸裂；直条靶材蒸发后的靶材离子在磁铁的磁场中受洛伦兹力完成自动筛选，提升靶材物料的供料良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直条 靶材装夹 机构 | ||
【主权项】：
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