[实用新型]基于氩气和氦气混合气体的等离子体发生装置有效
| 申请号： | 202020926234.X | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN212231793U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 何桐桐;郑跃胜;舒胜文 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 丘鸿超;蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种基于氩气和氦气混合气体的等离子体发生装置，包括：等离子体发生装置、激励电源和气体混合装置；所述气体混合装置用于生成含有氩气、氦气和掺杂气体的混合气体；所述等离子体发生装置用于将所述混合气体施加电场，在竖直下方产生等离子体；所述激励电源用于为等离子体发生装置提供高电压激励。其在装置上实现了氩气、氦气和掺杂气体的混合并产生等离子体，使得氦气和氩气的化学特性互补，有助于提升活性粒子的产生效率，增强等离子体射流的化学活性，从而提高应用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氦气 混合气体 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
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