[实用新型]一种石英晶片用表面清洗装置有效
| 申请号： | 202020926720.1 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN212652269U | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 张斌;郑宝春;郑宝生 | 申请（专利权）人： | 浙江蓝晶芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321100 浙江省金华市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石英晶片用表面清洗装置，涉及晶片清洗技术领域。包括外壳和晶片本体，所述外壳的底部固定安装有四个底柱，所述外壳的一侧固定安装有加压水泵，所述加压水泵的一端延伸进水箱的内部，该石英晶片用表面清洗装置，通过设置喷头和清洗箱，加压水泵将水箱内的的水通过进水管进入喷头，喷头喷出的水呈散射状，完成对晶片本体表面的一重清洗，可以去除晶片本体表面的沉浮污渍，清洗箱内设置有电机，通过清洗箱内的结构带动，连接杆带动清洗棉在晶片本体表面进行往返擦拭清洗，完成对晶片本体表面的二重清洗，传统的清洗装置一般只能进行一次清洗过程，本装置在一定程度上保证了晶片本体表面清洗的清洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 晶片 表面 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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