[实用新型]具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种具有辅助支撑的推舟机构及管式PECVD设备，推舟机构包括推舟座、推舟桨组、辅助支撑和水平直线模组，推舟座固定在水平直线模组的直线滑块上，辅助支撑包括支撑座和支撑杆，支撑座固定在水平直线模组的下方，支撑杆安装在支撑座上，推舟桨组一端固定在推舟座，另一端搭在支撑杆上。设备包括炉体、净化台和石英管，石英管内设有用于承载石墨舟的两个电极杆，还包括上述的具有辅助支撑的推舟机构，辅助支撑设在水平直线模组靠近炉体的一端。本实用新型通过新增辅助支撑，将大产能石墨舟悬臂梁式受力改为简支梁式，大大降低石墨舟搬运过程的挠度，实现送舟和取舟过程安全无触碰。