[实用新型]一种用于区熔炉的单晶夹持装置有效
申请号: | 202020943599.3 | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN212533192U | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 叶钢飞;胡建荣;倪军夫;阮文星;姜耀天;毛志飞;傅林坚;曹建伟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型设计单晶硅加工设备,特别设计一种用于区熔炉的单晶夹持装置。包括夹持器本体;夹持器本体设于夹持器底盘上端面中心,夹持器本体包括圆筒和设于圆筒顶端外的环形结构,夹持器底盘中心对应开有通孔用于晶棒的穿出;夹持器本体的环形结构顶端外沿上沿周向均匀设有三个导向孔,每个导向孔内各设有一个导向杆,夹持挡片分别设于导向杆顶端;提升机构包括设于夹持器底盘上的固定座,固定座靠近夹持器本体侧为斜面结构,滑轮通过旋转轴设于固定座顶端;滑块设于斜面上,滑块一端通过钢丝绳与滑轮相连,滑块另一端设有挡板。本实用新型通过调整夹持器底盘的高度,从而使钢丝绳拉动滑块带动导杆从而带动夹持挡片自由伸缩,使夹持可往复运动。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 熔炉 夹持 装置 | ||
【主权项】:
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