[实用新型]一种重量可调的锗单晶生长用悬浮坩埚有效
申请号: | 202020948505.1 | 申请日: | 2020-05-29 |
公开(公告)号: | CN212451738U | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 柯尊斌;陆海风;秦瑶;王卿伟;陈仕天 | 申请(专利权)人: | 中锗科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B15/20;C30B29/08 |
代理公司: | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人: | 李建芳 |
地址: | 211299 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种重量可调的锗单晶生长用悬浮坩埚,包括圆筒形埚壁;圆筒形埚壁内侧底部设有向外凸出的弧形埚底;圆筒形埚壁顶部沿周边均布有两个以上相同深度的配重盲孔;弧形埚底为曲率半径为从周边到中心逐渐增大的结构,弧形埚底上开有进料孔。上述悬浮坩埚,通过配重盲孔的设置,可通过向配重盲孔中添加钨棒或者钼棒来调节悬浮坩埚重量,实现进料深度的调节,改善了熔体对流,提升了单晶质量;通过加大弧形埚底中心处的曲率半径,大大提升了悬浮坩埚在熔体中的稳定性,有利于单晶成晶;进一步,通过加大圆筒形埚壁的上半部分内壁的粗糙度,增加了浮渣在悬浮坩埚上半部分内壁的粘附,消除了浮渣对无位错锗单晶成晶影响,提升了单晶合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 重量 可调 锗单晶 生长 悬浮 坩埚 | ||
【主权项】:
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