[实用新型]一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构有效
| 申请号： | 202020951439.3 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN212870778U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 陆尉;王玉明;陈晖;程海良 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | F27D5/00 | 分类号： | F27D5/00 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 祁云珊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于PECVD设备的炉管模块化机构，包括：内部中空的单面开放式机架；以及设于所述单面开放式机架内部的至少一组的炉体组件；其中，所述单面开放式机架包括：整体固定架；以及设于所述整体固定架内部的隔离架，所述隔离架将所述单面开放式机架隔离为水管放置腔及炉体放置腔，所述炉体放置腔的侧端开设有用于取放所述炉体组件的敞口。本实用新型具有通过将炉体装置放入进支撑框内，构成一整体，以使得维护时方便从单面开放式机架侧端整体取出炉体组件，而不需要从炉体两侧抽出石英管，达到维护方便的目的，同时结构简单，便于组装，提高了工作效率，降低了生产成本的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 pecvd 设备 炉管 模块化 机构 | ||
【主权项】：
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