[实用新型]注入式低温等离子装置

摘要

本实用新型涉及等离子装置领域，尤其涉及注入式低温等离子装置。包括箱体，箱体两端分别设有进口和出口，从进口处至出口处的箱体内依次设有均风板、过滤装置、低温等离子装置和光氧装置；所述过滤装置和光氧装置之间的箱体内竖向均布有至少一个隔腔，该隔腔内设有低温等离子装置；所述隔腔靠近光氧装置一侧为开口；隔腔顶面上设有进风孔；将低温等离子装置设置在隔腔内，避免与过滤装置过滤后的气体接触；由于隔腔靠近光氧过滤的一侧为开口，隔腔内的过滤后的气体与过滤装置过滤后的气体形成的过滤混合气体再经过光氧过滤进一步过滤使得对气体的过滤效果更好。