[实用新型]一种溅射环件有效
| 申请号： | 202020970083.8 | 申请日： | 2020-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN212505043U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;袁倩倩 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种溅射环件，所述溅射环件包括环体，所述环体具有形成端口的第一端部与第二端部，在所述第一端部上设置第一凸结体，在所述第二端部上设置第二凸结体，所述第一凸结体与所述第二凸结体均包括外形凹槽和中心螺纹孔，所述外形凹槽和所述中心螺纹孔的中心轴线重合，所述外形凹槽的凸出长度较所述中心螺纹孔的凸出长度小3.26‑3.76mm。本实用新型将端口处两个凸结体的中心螺纹孔的凸出长度保持不变，通过缩小外形凹槽的凸出长度，使得外形凹槽较中心螺纹孔在凸出长度上小3.26‑3.76mm，有效避免了异常安装导致的凸结体和溅射腔体的间接接触，进而防止了异常通电现象的发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 | ||
【主权项】：
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