[实用新型]硅晶片检测用环形LED光源有效

专利信息
申请号: 202020973504.2 申请日: 2020-05-28
公开(公告)号: CN212132062U 公开(公告)日: 2020-12-11
发明(设计)人: 沈火金;王千贵;徐磊 申请(专利权)人: 东冠科技(上海)有限公司
主分类号: F21K9/20 分类号: F21K9/20;F21V19/00;G01N21/88;F21Y107/10;F21Y115/10
代理公司: 上海脱颖律师事务所 31259 代理人: 李强
地址: 201203 上海市浦东新区中国(上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及硅晶片检测用环形LED光源,采用单色黄光LED,单色黄光LED灯在检测中,能够解决普通光源对于硅晶片造成的曝光变性问题,在所呈图像中mark点与背景之间能够形成明显的灰度对比,使得mark点能够被计算机简单的识别定位。
搜索关键词: 晶片 检测 环形 led 光源
【主权项】:
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