[实用新型]一种晶圆测试台用减震支座

摘要

本实用新型涉及晶圆生产设备技术领域，具体是一种晶圆测试台用减震支座，包括天板、支撑部、橡胶支撑部、加强钢板、底板、地面、检测台、检测仪和安装槽；所述底板上开设有通孔，地面上开设有螺孔，螺栓依次穿过通孔和螺孔并螺纹安装在螺孔内，螺栓和底板的贴合处设置有缓冲机构；缓冲机构包括垫片主体、滑槽、支撑块和弹簧，垫片主体上开设有滑槽，滑槽内滑动安装有支撑块，滑槽底部和支撑块下端面之间放置有弹簧；橡胶支撑部上开设有前后贯通的槽。本实用新型结构简单、便于对现有晶圆检测台进行改造，能够进一步提升现有的减震支座的减震效果，实用性强，适用范围广。