[实用新型]用于掩膜版的加热装置有效
| 申请号： | 202020979704.9 | 申请日： | 2020-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN211905978U | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 林伟;林超;王伟轶;周荣梵 | 申请（专利权）人： | 成都路维光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 余翔 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于掩膜版的加热装置，包括加热板，加热板上布置有垂直于加热板的顶针，掩膜版布置在顶针上的表面，所述顶针包括顶杆和布置顶杆上部的顶帽；所述顶杆和顶帽螺纹连接，顶杆上设置有螺纹孔，顶帽上设置有与螺纹孔匹配的螺纹杆；相比于传统整体式的顶针而言，本实用新型将顶针设置为分离式的顶杆和顶帽，且顶杆和顶帽螺纹连接，通过旋转顶帽进而使顶针的高度持续可调，进而保证了顶针上表面掩膜版的水平度，使掩膜版受热均匀，提高了掩膜版的质量；且本装置结构简单、调节方便。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 掩膜版 加热 装置 | ||
【主权项】：
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