[实用新型]一种溅射镀膜冷却水循环系统有效
| 申请号： | 202020991823.6 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212713742U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张海军;贾祥文;韩阳;李均平;唐勇 | 申请（专利权）人： | 苏州锐世讯光学科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区黄桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了克服已有技术的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜冷却水循环系统，通过将第二水箱3底端出水管道4的水依次经过第一电动调节阀12、第二水泵8和第二电动调节阀13，连接到真空镀膜机9的冷却水进水口，通过第一水泵7为冷却水提供驱动力，因而冷却水就可以从第二水箱3中进入真空镀膜设备，流经真空镀膜设备的内置冷却管道，对真空镀膜设备需要降温的部位进行去热降温；由于第一水箱2的顶部回水管道5经过第三电动调节阀14连接到真空镀膜设备的出水口，故冷却水就可以从真空镀膜设备的内置冷却管道通过第一水箱2再流回到第二水箱3中，形成循环通路，避免了水的浪费，简化制冷的设备的复杂度，减少环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 冷却水 循环系统 | ||
【主权项】：
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